以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。電子工廠潔凈廠房的設計、建造必須適應電子行業快速發展的需要。從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。同時考慮系統的節能運行。
GB50472-2013潔凈廠房設計規范
GB50472-2008-電子工業潔凈廠房設計規范
■ 服務領域:精密機械制造、汽車零部件生產、電訊設備制造、光學儀器儀表生產等。
■ 重點注意事項:
1、人流
1-1、人員凈化:
1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
1-3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;
1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。
2、物流
2-1、潔凈室內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。
2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
3、靜壓差
3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;
3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;
3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。
潔凈室空氣潔凈度等級表
空氣潔凈度等級(N) | 大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3) |
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm |
1 | 10 | 2 | -- | -- | -- | -- |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | -- | -- |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | -- |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | -- |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | -- | -- | -- | 352000 | 83200 | 29300 |
8 | -- | -- | -- | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | -- | -- | -- | 35200000 | 8320000 | 293000 |