1、靜電控制的基本原則
(1)確定靜電控制級別
(2)盡量減少靜電荷的產生
(3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累
(4)保護產品不受ESD的損壞
2、確定靜電控制的級別
(1)元器件、組件和設備靜電敏感度分級
1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的
2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的
3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的
而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。
(2)靜電防護工作區的分級
A級:允許對地靜電電位不超過±100V
B級:允許對地靜電電位不超過±1000V
實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。
3、盡量減小靜電荷的產生
這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環境中,最好的措施:
(1)盡量采用性質相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷;
(2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷;
(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。
4、泄放和中和
這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產的凈化室中最通常的措施是接地,采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。
(1)接地
潔凈室應設一個獨立靜電接地系統(包括地面接地金屬網支系統、生產線工作站接地支系統),以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔。