伴隨著產品可靠性、加工工藝精密化、產品微型化以及產品高純度等要求而不斷地發展的，可以看出無論是在陀螺儀制造過程中最開始的空氣凈化技術應用，還是在戰爭中發現電子儀器失靈原因是灰塵作怪，空氣凈化為滿足更高環境需求中不斷發展，應用領域不斷延伸。
國際上空氣凈化技術應用經歷了以下階段：
20世紀20年代，美國航空業的陀螺儀制造過程中最先提出了生產環境凈化要求，在制造車間、實驗室建立了“控制裝配區”，供給一定量過濾后的空氣。在朝鮮戰爭中，美國找到了電子儀器出故障主要原因是灰塵作怪，從而促成了空氣凈化的起步。
1957年，前蘇聯第一顆人造衛星升空，刺激美國加速發展宇航事業，制定了阿波羅號登月計劃，其電子控制儀器和精密機械加工環境均要求凈化，因而促進了凈化技術大發展，建造了百級潔凈室，誕生了第一個潔凈室標準。
1970年，lk位的集成電路開始大規模生產，使潔凈技術發展突飛猛進。20世紀80年代，大規模和超大規模集成電路的生產，使空氣潔凈技術有了進一步的發展，集成電路的最細光刻線寬達到2~3pr^在70年代末和80年代初，美國、日本研制出0.1pm級髙效空氣過濾器，為潔凈度的提高創造了條件。
在20世紀90年代，超大規模集成電路的生產有了新的進展，最細光刻線寬由80年代的微米級發展到亞微米級。到20世紀末，要求達到0.1?0.2MJT1,集成度達到lkM。集成電路的集成度越高，要求的光刻線寬就越小，則要求控制的塵粒粒徑就越小，塵粒數童也越少。如今，要求0.1pLmlO級的潔凈度已經很普遍，將來要求的潔凈度會更高，潔凈室的應用領域會更加寬廣。
電子產業的飛速發展，將推動我國潔凈技術向高水平發展，而醫學與藥物的快速發展，必將使潔凈技術應用更加廣泛。我國在制藥行業實施GMP(GoodManufacturingPractice)認證制度以來，生物潔凈室的興建像雨后春筍，給潔凈技術產業帶來空前的繁榮。
在21世紀，生物工程對人類的直接影響將超過芯片，而其發展離不開空氣潔凈。如生物工程中有相當一部分操作存在潛在危險性，特別是存在可能具有未知毒性的微生物新種傳播生物學危險。這就需要提供具有生物安全的建筑微環境，可利用空氣潔凈技術、生物安全知識來建造生物安全潔凈室(實驗室)來控制這種具有生物學危險的污染的傳播。
采用生物學工藝制成生物活性制劑，即生物藥品，其生產過程需保持無菌，并且最終不能滅菌。因此，生產過程應實行微環境無菌控制，有很大一部分還需要實行生物安全，這種控制過程都需要應用凈化技術來實現。
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