無塵室(Clean Room),也稱為潔凈室。
潔凈室是指能將一定空間范圍內之空氣中的懸浮微粒、細菌等污染物排除,并將室內的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產之環境因素控制在某一設計需求范圍內,而給予特別設計的房間。
不論外面空氣條件如何變化,其室內均能具有維持所設定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產所需環境因素性能的特性。
無塵室的污染來源
污染源主要有四種:人員、空氣、表面、產品。人員的主要污染源主要來自于人體外細胞的正常脫落和著裝,另外人的嘴和鼻子也能污染空氣,說話、咳嗽、打噴嚏也能產生大量的微生物粒子,也是污染的關鍵。
潔凈度等級
國家標準GB50073-2001
美國聯邦標準(USA Federal Standard)209E(1992年)無塵室潔凈度參照
目前FPC行業主要線路壓干膜、干膜曝光、覆蓋膜貼合、油墨印刷、感光油墨曝光等工序使用無塵室,主要無塵室等級選用萬級(7級)或者10萬級(8級),部分大的工廠會使用到千級無塵室(6級)。
FPC行業無塵室常用的測試指標:
溫度:23+/-2℃
相對濕度:60+/-10%
室內壓差:5-20PA
潔凈室設計
氣流組織型式及換氣次數
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