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無塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會用到。今天我們就來為大家講述一下無塵室等級分類及應用標準。
01、無塵室的等級說明
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
02、無塵室等級標準
據查詢無塵室等級標準的版本較多,于是小編就整理兩個較常用的劃分標準,分別是國際標準 IOS14 ** 4-1和中國標準 GB/T16292-1996,具體詳情請看下表:
空氣潔凈度分級標準:IOS14 ** 4-1(國際標準)
Air Change:FFU的表面積*風速*FFU數量/無塵室體積
HEPA遮蔽率:FFU的表面積*FFU數量/無塵室面積
>>>風速、溫濕度
氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)
一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃
一般濕度控制范圍:(45±5)%RH
>>>壓差
在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa,而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時,維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。
>>>構成要求
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子
C.吸濕性小
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高
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